鋰電池生產(chǎn)對(duì)水分極其敏感，電解液中的LiPF6遇水會(huì)分解產(chǎn)生HF，導(dǎo)致電池容量衰減甚至引發(fā)**隱患。因此，鋰電池制造中的多個(gè)工序必須依賴真空系統(tǒng)進(jìn)行深度脫水和除氣。典型應(yīng)用包括：電極片真空干燥——將涂布后的正負(fù)極片放入真空烘箱，在10~100 Pa真空度下加熱至120~150℃，快速去除NMP或水溶劑；電解液真空注液——先將電芯抽至低真空（<100 Pa），然后利用負(fù)壓將電解液吸入，使電解液充分浸潤(rùn)極片；真空化成——在初次充放電過程中，將產(chǎn)生的氣體不斷抽走，防止氣脹。在這些工序中，真空系統(tǒng)通常采用干式螺桿泵或羅茨泵機(jī)組，因?yàn)橛驼魵饪赡軙?huì)污染電芯。此外，為了滿足大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)，鋰電池生產(chǎn)線采用連續(xù)隧道式真空干燥爐和多腔室真空注液機(jī)，對(duì)真空系統(tǒng)的抽速、穩(wěn)定性和可靠性提出了極高要求。據(jù)統(tǒng)計(jì)，一臺(tái)年產(chǎn)1GWh的鋰電池生產(chǎn)線，需要配備超過20臺(tái)不同規(guī)格的真空泵。隨著新能源汽車產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)，真空系統(tǒng)在鋰電領(lǐng)域的市場(chǎng)規(guī)模正以每年超過20%的速度增長(zhǎng)。真空系統(tǒng)強(qiáng)化抗干擾能力，搭配屏蔽式真空泵與防電磁管路，適配電子車間工況。海南真空系統(tǒng)制造

擴(kuò)散泵是一種依靠高速蒸汽射流來攜帶氣體的動(dòng)量傳遞泵，屬于高真空（10^-4~10^-6 Pa）領(lǐng)域的經(jīng)典裝備。其工作原理為：底部加熱器將高沸點(diǎn)硅油或聚苯醚油加熱至沸騰，油蒸汽沿中心噴管上升，經(jīng)多級(jí)傘形噴嘴向下高速噴出，形成密集的蒸汽射流。氣體分子擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流后，被攜帶至泵壁冷卻并釋放，油流回底部重新加熱，被攜帶的氣體則由前級(jí)泵抽走。擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無運(yùn)動(dòng)件、可靠性極高，而且抽速大（幾百到十萬(wàn)升每秒），單位抽速的成本遠(yuǎn)低于分子泵，因此在工業(yè)鍍膜、真空冶金、航天模擬等領(lǐng)域仍然大量使用。缺點(diǎn)是需要前級(jí)泵（通常為旋片泵或羅茨泵組），存在微量返油現(xiàn)象，對(duì)超高真空和潔凈要求（如半導(dǎo)體納米工藝）不太適合。此外，擴(kuò)散泵啟動(dòng)慢（需預(yù)熱20~30分鐘），停機(jī)后必須等油冷至80℃以下才能破空，否則油會(huì)氧化變質(zhì)。現(xiàn)代擴(kuò)散泵常配有冷阱和水冷擋板，能有效減少返油并捕集水蒸氣。福建造紙行業(yè)用真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)適配高粉塵工況，搭配防塵真空泵與過濾預(yù)處理裝置，防止部件磨損。

在第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶生長(zhǎng)（PVT法）中，真空系統(tǒng)直接決定了晶體的質(zhì)量。生長(zhǎng)腔體需要長(zhǎng)期維持在10^-4 Pa至10^-5 Pa的超高真空環(huán)境，且要求極高的穩(wěn)定性（壓力波動(dòng)需小于±1%）。這是因?yàn)槲⑿〉膲毫ψ兓瘯?huì)改變硅組分的蒸氣壓，導(dǎo)致晶體出現(xiàn)多型夾雜。真空系統(tǒng)通常采用分子泵與干式螺桿泵串聯(lián)，且所有管路需進(jìn)行電解拋光處理以降低表面粗糙度，減少氣體吸附。在先進(jìn)陶瓷（如氮化硅軸承球）的燒結(jié)中，真空系統(tǒng)需配合熱等靜壓（HIP）設(shè)備，在1400℃高溫和200MPa高壓下，依然保持腔體的氣密性，防止惰性氣體泄漏，這對(duì)真空閥門的密封性能提出了極高挑戰(zhàn)。

半導(dǎo)體與泛電子制造行業(yè)是目前對(duì)真空系統(tǒng)要求很苛刻的應(yīng)用領(lǐng)域。在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，從薄膜沉積（CVD/PVD）、干法刻蝕、離子注入到極紫外（EUV）光刻，幾乎所有的關(guān)鍵工藝步驟都必須在高真空或超高真空環(huán)境下進(jìn)行，以防止微小電路受到空氣中的氧氣、水蒸氣或塵埃顆粒污染。同樣，在顯示面板（如OLED）、太陽(yáng)能電池片以及PCB線路板的生產(chǎn)線上，工業(yè)抽真空系統(tǒng)被大量用于真空吸附固定脆性基板、激光打標(biāo)以及電子元件的真空灌封工藝。這類應(yīng)用要求真空系統(tǒng)具備極高的清潔度（無油返流）、極低的顆粒物排放以及高度穩(wěn)定的抽氣速率。真空系統(tǒng)采用無油滑片式真空泵，抗粉塵耐沖擊，適用于木材真空吸塑成型與板材貼合。

氮化硅（Si3N4）是綜合力學(xué)性能很優(yōu)異的先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷之一，廣泛應(yīng)用于軸承、切削刀具、發(fā)動(dòng)機(jī)部件等。其燒結(jié)難點(diǎn)在于：Si3N4在1900℃以上會(huì)發(fā)生分解，因此不能像氧化物陶瓷那樣在大氣常壓下燒結(jié)。工業(yè)上成熟的方法為“氣壓燒結(jié)”（GPS），即在高溫下充入高壓氮?dú)猓?~10 MPa）來抑制Si3N4的分解。而氣壓燒結(jié)的前期，必須先用真空系統(tǒng)將爐內(nèi)抽至高真空（<10^-2 Pa），以去除脫脂產(chǎn)物和吸附氣體。這一過程中，真空系統(tǒng)往往采用“機(jī)械泵+羅茨泵+分子泵/擴(kuò)散泵”三級(jí)配置，確保在低溫段（室溫~1200℃）快速將爐壓降至0.1 Pa以下，防止氧和水分導(dǎo)致Si3N4顆粒表面氧化。當(dāng)溫度升至1600℃以上時(shí)，系統(tǒng)開始充入高純氮?dú)庵猎O(shè)定壓力，此時(shí)真空閥門需具備高壓承壓能力，真空計(jì)需切換為壓力變送器。整個(gè)“真空-加壓”循環(huán)要求系統(tǒng)密封性好，且閥門響應(yīng)迅速。目前氣壓燒結(jié)爐可實(shí)現(xiàn)程序化的真空/氣氛/壓力多段控制，很大提高了氮化硅陶瓷的致密度和批次穩(wěn)定性。真空系統(tǒng)集成旋片 - 羅茨復(fù)合泵組與閥門矩陣，靈活切換工況，滿足電子制造多工序真空需求。陜西真空系統(tǒng)生產(chǎn)商

真空系統(tǒng)適配微小空間，搭配微型真空泵與細(xì)徑管路，滿足精密器件真空需求。海南真空系統(tǒng)制造

光學(xué)鍍膜用于制造攝像頭、AR/VR鏡片、激光器、光纖等精密光學(xué)元件，對(duì)膜層的吸收、散射和附著力有著極為嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)，因此必須采用超高真空（UHV）系統(tǒng)。典型光學(xué)鍍膜機(jī)的真空配置為“無油干式前級(jí)泵+分子泵+低溫泵”組合，極限真空度可達(dá)10^-6~10^-7 Pa，且整個(gè)系統(tǒng)采用全金屬密封，漏率低于10^-8 Pa·m?/s。在高真空環(huán)境下，殘余氣體（主要是水汽和碳?xì)浠衔铮┑钠骄杂沙毯荛L(zhǎng)，不會(huì)與蒸發(fā)粒子碰撞，保證了膜層的純度和致密性。此外，為了提高膜層致密度和抗激光損傷閾值，常常在鍍膜過程中引入離子源輔助（IAD），即用離子束轟擊正在生長(zhǎng)的薄膜。此時(shí)，真空系統(tǒng)還要額外處理離子源工作時(shí)釋放的工藝氣體（如氧氣、氬氣），并通過自動(dòng)壓力控制維持穩(wěn)定。對(duì)于紫外波段的光學(xué)鍍膜，要求真空系統(tǒng)完全無油，因?yàn)槿魏挝⒘坑头肿佣紩?huì)在紫外光下產(chǎn)生吸收，導(dǎo)致鏡片發(fā)熱甚至燒蝕。因此，光學(xué)鍍膜機(jī)普遍采用全干式真空系統(tǒng)，并配備原位殘余氣體分析儀（RGA）實(shí)時(shí)監(jiān)控氣氛成分。海南真空系統(tǒng)制造

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